Máquina de limpieza de agua CMOS Wafer
Máquina de limpieza de agua CMOS Wafer
modelo
SM-570

Evaluacion

Descripción

Caracteristicas

● Solicite la limpieza del polvo de la superficie del módulo de la cámara, a través del lavado con agua pura a alta presión y la limpieza con dos fluidos de vapor de agua, elimine eficazmente el soporte, la ontología CMOS, como las partículas de polvo de la superficie Wafer.

● Integración hombre-máquina, operación con un solo botón , proceso de limpieza completa completamente automático.

● Con sistema de limpieza de integración .

● Gabinete de la máquina de acero inoxidable , grandes ventanas de observación, práctico y hermoso;

● La sala de limpieza de diseño especial, la filtración de aire FFU secundaria, el drenaje de circuito abierto de agua y aire DI proporcionan un entorno limpio para todo el proceso de limpieza;

● Bajo consumo de energía y bajo ruido de funcionamiento;

● Diseño de apariencia compacta y pequeña, y área menos ocupada, implementación conveniente.

● Monitoreo completo del sistema por ración de instrumento , funcionamiento estable y seguridad.

● Filtro automático ir, para garantizar el efecto de limpieza.


Especificación

Dimensión

860 ( L) * 1000 ( W) * 1820 ( H) mm

Método limpio

Vapor de agua dos fluidos

Fuente de alimentación

380V 10A 50Hz

Método de secado

Deshidratación centrífuga de alta velocidad (asistida por el viento iónico)

Limpieza de agua pura

≧ 17M Ω

Precisión pura del filtro de agua

1 μ m

Presión de agua pura

≧ 0.2MPa

Precisión del filtro de aire

0.01 μ m

Capacidad de aire comprimido

≧ 8m ³ / min

Diámetro de limpieza del polvo

≧ 1 μ m98% arriba

presión de aire comprimido

0.4--0.75MPa

Consumo máximo de agua pura

10L / min

Material

cuerpo de la máquina con acero inoxidable 316 espejo

Consumo de aire

5 m³ / min

Peso

300 KG

Placa de trabajo Max

Φ 570 mm

Manera de control

PLC + pantalla táctil

Tamaño máximo de limpieza

200 ( L ) * 140 ( W ) mm

Presión limpia centrífuga

0.15--1.4MPa

Velocidad de ración de la placa de trabajo

0--2000r / min